国产 EUV 光刻机研发：关键部件突破，芯片自主化更近一步？ 前沿趋势 2025-08-27 10 随着全球半导体产业的竞争日益激烈，芯片自主化已经成为国家战略的重要组成部分。在这一背景下，光刻机作为半导体制造中的核心设备，备受关注。尤其是极紫外光（EUV）光刻机的技术突破，更是标志着我国在高端制造设备领域迈出了重要一步。国产EUV光刻机的研发不仅对我国半导体产业具有重要意义，也对全球光刻技术格局产生深远影... 阅读全文
